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郑州博纳热窑炉有限公司
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氮化硅粉体真空炉

名称:氮化硅粉体真空炉

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 博纳热窑炉有限公司,原兄弟窑炉,成立于2008年,至今已有十余年的历史,公司旗下有博纳热和天纵两个子公司。目前主要有电炉,加热元件和钣金业务。

2016年公司扩大规模,买下一万平方工业用地,建设了更加专业的工厂,拥有从钣金到加工到加热元件到炉体成型整条完整生产线。
目前我公司无论规模,产品质量还是技术研发实力在整个行业里都是数一数二的!是您够买电炉设备的绝佳选择!

氮化硅粉体真空炉

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一种高纯度氮化硅粉体生产工艺,包括以下步骤:

 

a、将采购的金属硅粉过筛,去除杂物及团聚,将筛好的金属硅粉分装于不锈钢料盘,放入烘箱,烘7-9小时,烘箱温度设定为70-90度;

 

b、将烘好的金属硅粉装入料盒,每个料盒装料均匀,表面平整,将装好的料盒整齐放入氮化硅反应炉内,关好炉门,抽真空,抽完真空后,停真空泵,然后给反应炉送电升温,初期设定温度在950-1050度,升温时间设定5-7小时,

 

c、仔细观察压力表的变化,在1小时内压力表没有变化则再升温10至50度,再观察压力表,发现压力下降表明反应炉内金属硅粉和氮气巳经开始反应了,在第一温度段1000-1200度,反应时间在22-26小时;

 

d、经过二十多小时后,压力有所上升,说明第一段反应结束,这时继续升温40-60度,后面的升温过程和前段一样,最后当温度升至1360度时升温结束;

 

e、当温度在1360度经过4-5小时后,不再吸收氮气即可认为反应全程结束,为了保证产品有低的游离硅,这时还需要再保温9-11小时;

 

f、保温后,关闭反应炉电源,让其降温,当炉温降至200度以下打开炉门,取出产品,取样送检,等检查结果出来,指标合格,产品装箱送仓库。

 

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